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国内巨人打破垄断,光刻机迎来希望,核心设备研制成功!

来源:南方城市网

发布时间:2020-12-14 02:22:27

中国半导体产业并不落后,但并不先进。世界著名的是华为海斯等芯片公司,以及汇鼎科技、紫光展览瑞等新兴芯片公司。但整个半导体产业链实际上很大,中国芯片公司主要掌握设计。

整个半导体产业链都很大。

中国的芯片公司设计他们的产品,然后交给工厂生产。例如,我们熟悉的台积电不仅是麒麟系列芯片的制造商,也是苹果系列芯片的制造商,也就是说,

在整个半导体制造业中,核心设备是光刻机。

投影物镜、工件工作台和光源是光刻机的三个核心子系统,在光刻机的独立生产中发挥着重要作用。

当时,ASML已将光刻机的分辨率提高到0.1微米,而中国光刻机的分辨率仍在0.8到1微米之间,缺乏产业化,主要研究单位都是科研机构。ASML双工件平台系统的引入引起了清华大学机械工程教授朱预的注意。

但是在后续的研发过程中,朱预团队陷入了瓶颈,从2004年到2008年,由于研发资金的缺乏,团队几乎停滞不前,幸运的是,09年02项目开始实施,该团队只是再次获得科研资金,从那时起,朱预团队开始专注于双工件平台的研究和开发。

为了加快工业化进程,朱预等人于2012年成立了华卓有限公司,即今天的华卓京科,经过长达八年的努力,朱预的团队终于开始收获回报。

现在,在朱预和其他人的领导下,华硕京科取得了成功。

目前,华卓景科已获得上海微电子的订单,该公司的零件表已于2020年4月供货。然而,华卓景科面前的问题仍然十分艰巨,因为该公司目前在上海微电子只有一个客户,而世界三大光刻制造商尼康、佳能和ASML都是独立开发的。

值得注意的是,尼康、佳能和ASML合在一起,占全球光刻机份额的90%以上,而华硕精科几乎没有机会向这三家公司销售零部件。这三家公司都同意,工件平台属于核心技术,不卖给外界,因此华硕精科已成为上海微电子工件平台的唯一供应商。

总之,花卓京科面前的问题仍然很严重。

因此,中国的独立光刻机能否取得进一步的突破,也取决于上海微电子的能力。

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